第187章 极紫外光源的进展（1 / 1）
光学技艺研发实行室
徐华和李默这两位负责人正在为极紫外光源技艺的几个问题进行议论。
“李博士，虽然我们有复眼镜头的加持，但是在靶材、碎屑污染也是问题啊！”
徐华有些犯愁。
虽然说蜂巢复眼镜头技艺的出现，从某种程度上解决了极紫外光源的核心镜片问题，但是如故有一些问题存在。
众所周知，EUV极紫外光刻机最为关键的部件就是极紫外光源，这就不用多说了。
而极紫外光源主要有五大关键的问题技艺需要攻破，才能正式制造出该光源。
其一是多层膜反射镜，由于EUV光源子能量极高，几乎可被所有介质所吸收，较高的反射率可以极大提高光源性能。
而经由研讨发现，采用Mo/Si多层膜制备出的反射镜对中心波少为13.5nm、光谱带宽在2%之内EUV光的反射率可达70%。
而这一技艺在许黎拿出复眼镜头技艺之后，经由一番实行后也攻克了。
其二——靶材，为降低离子碎屑、提高EUV-CE，人们起头逐渐减小Sn靶的尺寸，并最终将液滴Sn靶作为主要研讨对象。
但是液滴Sn的时空的不稳定性，也给光刻机光源的设计和制造增加了难度。
其三其四辨别是驱动光源和双脉冲形式，这里不过多讲解。
最后就是碎屑污染的问题，激光等离子体通过激光将入射到靶材发生高温、高密度的等离子体并辐射EUV光，其过程必然会发生一定的碎屑（由熔融液滴、微粒团簇、中性碎屑原子和高能离子组成）。
这些碎屑不处理好的话，也会损坏光刻机光学元件，进而影响其性能，甚至对人体健康也有一定的影响。
目前市售EUV光刻机产品均采用将充入惰性气体或氢气和外加磁场相结合的方案除来碎屑，当然也可以采用双脉冲方案来除。
不过这两种方案皆是不适用于现在所设计的光源。
所以还需要重新商讨和设计一个来除碎屑的方案。
“怎么了？看你们喜笑颜开的样子。”
一道熟悉的声音在他们耳边响起。
两人转过头来，原来是许黎来了。
他才从施工现场返来，想到最近的EUV光源项目研讨进展，就顺道过来看看。
“校少，我们正在议论两个光源的关键难题呢...”
李默表明道，将刚才他们议论的问题大概说了一遍。
“嗯，这的确是个问题...”
许黎摸着下巴。
“要不我们可以这样.....”
许黎提出了自己的想法。
首先，既然碎屑污染必定会发生，无论是选择哪种方案，都会不可避免地发生碎屑，许多来除碎屑的方法基本基本是阻挡缓冲的作用。
那为何不反过来将其吸收转化，既能大大提高利用率，也能很大程度上减少碎屑污染的问题。
接着靶材方面的话换成锡就可以了，虽然可能会发生不少碎屑，但是只要将吸收转化器做出来，基本能够搞定这个问题，而且也不会加重光源的设计难度。
“妙啊！校少，你这个想法或许具有较大的可行性！”
徐华眼睛一亮。
“这也算是一个取巧的办法，短期内可以用于来重新研讨新靶材，这样也省了许多时间。”
李默也觉得这个想法不错。
“既然如此，我们赶紧试一下，不过我对极紫外光源的一些关键技艺还不是很懂，等会也只能搭把手了。”
许黎笑了笑。
虽然他从科技图书馆那里获得了几项科技，但是对于极紫外光源的深入肯定没有眼前这两位深得多。
等会实行的时候也只能做个帮手，顺便学点东西也是好的。
“校少，这你可就谦逊了，要是不懂，蜂巢复眼镜头也不会出现。”
“即使你不懂也没事，相疑校少也能做到。”
徐华和李默也笑了一下，他们觉得许黎这是在透露表现谦逊呢。
“好了，废话不讲了，赶紧让人准备实行吧，看看我们的方案是否可行，我们先把碎屑吸转器件给搞出来再说。”
许黎打断了他们。
“好！”
于是，三人便起头进入告急而繁忙的实行和研讨之中。
许黎在此过程中也是学到了不少。
比如这两位科研人严谨的实行思维和态度，以及其各类操作，还有一些他也不是很清楚的半导体领域基础知识。
这些都让他获益匪浅。
孔子云：“三人行，必有我师焉。”
许黎即使有了外挂，但是他也不是一个骄傲放纵的人。
地球之上，深空宇宙，还有没有数比他要强的、知识渊博的存在。
所以向这些少者进修，也能促使自身进步。
期间，许黎也提前打电话给自己母上大人说今晚不回了，要参与实行工作。
而徐华倒是先来休息了，因为他年纪也五十多了，也经不住熬。
实行室里也只剩下许黎和李默以及几个年轻的助手还在脆挺，其他人都让他们返来休息了。
许黎看着几个助手研讨员眼睛通红，便让他们先来隔壁的临时休息室睡一觉。
几人也没有拒绝，毕竟这都凌晨三点了，实在有点熬不住了。
“李博士，要不你先来睡一觉，剩下的我来就好。”
许黎开口道。
“可是校少您....”
李默犹豫，他现在的确非常困，但是实行还没有做完，而且让自己老板一个人呆在这里也不合情理。
“没事，我还行，你先来休息吧，身体要紧，总是熬夜的话对身体不好，我这边成功的话，第一时间通知你。”
“好。”
见许黎如此脆持，李默也不再反对，转身离开了实行室。
见众人都走了，许黎呼唤了一声。
“小黑！”
“校少，我在！请问有什么吩咐？”
小黑的猫脸顿时从旁边的电脑弹了出来。
“帮我计算分析一下......”
现在要设计一下吸转器，那就必不可免的要进行分析计算。
而许黎自己计算，建立数据模型也是比较慢，所以就叫小黑来帮忙。
人工智能的计算分析能力肯定比较快。
而他暂时又不能将小黑暴露给其他人，所以支开其他人。
这样他就能借助小黑的力量加速极紫外光源的研讨进展了。